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  • TFE-1200-50-220單溫區PE-CVD系統

    單(dan)溫區(qu)PE-CVD系統高(gao)性能(neng)(neng)射(she)頻電(dian)源.等離子體更穩定;滑軌式結構能(neng)(neng)使整(zheng)個反應腔室都處于輝光產生(sheng)區(qu).并可實現快速升溫和降(jiang)溫功能(neng)(neng); 與傳統CVD相比較.生(sheng)長溫度更低

    更新日期:2023-08-09
    型號:TFE-1200-50-220
    廠商性質:生(sheng)產(chan)廠家
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