潔泰半導體晶圓五槽超聲清洗設備配置:
第一槽:超聲波清洗+過濾循環(huán)
功能:將清洗出來的浮油、雜質(zhì)、粉塵過濾、節(jié)省清洗劑
第二槽:超聲波精洗
功能:經(jīng)過第一槽清洗之后,在漂洗槽漂洗一遍,提高清潔度
第三草:超聲波漂洗
功能:使用超純水作為清洗劑,使產(chǎn)品漂洗的更潔凈
第四槽:慢拉脫水
功能:有機溶劑慢拉脫水槽,采用酒精或者IPA作為脫水溶劑。連接冷水機控溫5-35℃,降低溶劑揮發(fā),保證使用環(huán)境安全。安裝慢拉提升機構,使清洗產(chǎn)品緩慢提升,達到脫水無水印效果。
第五槽:熱風烘干槽
功能:經(jīng)過前4面道工序,5槽進行熱風循環(huán)烘干,清洗物件烘干
另外,定制其他功能如:滾筒、鼓泡、拋動、升降、風切等,可以按照您的尺寸規(guī)格訂做,采用何種方案咨詢我們銷售工程,提供免費的技術方案規(guī)格書。